EtherCAT半导体技术工作组发布新标准

2011年成立的EtherCAT技术工作组的目标在于为半导体行业建立EtherCAT标准。虽然基础技术（即通信的“方式”）自然保持不变，但设备行规定义了行业特定设备（如流量控制器，高真空泵和高频发生器）的内容。为此目的，该工作组每两年组织一次持续几天的会议。这些会议在加州的硅谷或者疫情期间在线开展，通常有50-80专家参与，这些专家来自于设备供应商和半导体制造设备的生产商以及他们的最终客户——芯片制造商。因此，该工作组覆盖了整个行业的供应链，以保证技术规范满足来自于供应商及其客户的要求。

在最近举行的第24次会议上，半导体工作组又批准了四个新的设备行规，成功地完成了相应任务组的工作：液体流量控制器、晶圆处理室温度传感器、电压和电流频率分析传感器以及特殊过程控制阀的各种设备行规。本次会议还成立了一个新的任务组，旨在开发光学发射光谱(OES)的设备行规。该行规将真正受益于EtherCAT协议对带宽的有效利用：每个通信周期必须将多达500字节的周期性原始数据传输到控制器。因此，目前已经有24个应用于半导体领域的EtherCAT设备行规。

专家们将于2024年5月在硅谷举行的25周年纪念会议上再次会面，届时工作组将由两家行业巨头应用材料公司和LAM研究公司主持。定期的面对面接触有助于维护和建立TWG Semi多年来的信任与合作。