【有奖】成功事例 | ALD镀膜设备上的龙门控制方案

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设备概况

该ALD镀膜设备由4个炉管、龙门上下料结构、冷却与缓存料架组成，龙门上下料负责将石英轴放入ALD炉管中，在ALD炉管内通过特定的温度通入工艺气体，一段时间后取出，在缓存料架中冷却，冷却完成后该工艺完成。

课题

■  PLC如何保证龙门机构运行的平稳度？

■  如何保证龙门回原正常？

<b>解决方案

PLC电子齿轮+扭矩平衡补偿技术：

建立主虚轴，使用电子齿轮功能块将两轴进行同步，并实时计算两轴的扭矩差值，根据差值调节齿轮比，来平和两轴的扭矩，防止出现扭矩不平衡导致机构变形和损伤。由于龙门刚性较大，调整幅度不宜过大，并且不使用PID进行调节，也减少了调试时间，但需要注意补偿的方向。

<b>系统配置

使用PLC控制伺服同步完成龙门功能。

<b>实现价值

经营层：协同推进ALD设备性能优化与成本精益管理，支持客户产品竞争力可持续发展。

业务层：降低高精度定位系统对高端伺服硬件的依赖性，重构运动控制成本模型。

现场层：龙门机构点动、定位及回原功能运行平稳，动作流畅不卡顿。

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  本期礼品  

欧姆龙血压计A862

抽奖活动规则

参与方式及条件：活动月内（每月1日-月末），在任意产品介绍页找到抽奖入口，填写真实咨询信息（姓名+公司名称+手机号+抽奖奖品寄送地址），提交即获得1次参与资格（单月仅1次有效，重复无效）。

奖品：1份（2026年6月奖品为欧姆龙血压计A862，价值339元）

开奖时间：每月最后一日开奖，开奖后7个工作日内在本公众号公布中奖名单，并通知中奖人。

奖品交付方式及时间：开奖后15个工作日内以包邮邮寄方式发出，中奖人无需额外支付任何费用。

弃奖条件：中奖人地址不完整、手机号错误、拒收退回，视为中奖人弃奖。奖品不顺延，不再邮寄。

活动解释权归欧姆龙自动化（中国）有限公司所有。

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